Ионная имплантация, введение легирующих примесей в твердое тело, осуществляемое посредством бомбардировки его ионами примесного вещества. И. л. применяют в машиностроении для улучшения коррозионной стойкости и упрочнения поверхностных слоев металлических деталей.

При И. л. ионы примеси, ускоренные до энергий 104 – 106 эВ, проникают в твердое тело и тормозятся в нем в результате многократных соударений с атомами легируемого вещества. Изменяя энергию ускорения ионов, можно создать p - n переходы в легируемом образце на различной глубине. При этом в образце могут появляться структурные дефекты, накопление которых может привести к аморфизации поверхностных слоев. Применяя тер-мообработку (в т. ч. импульсную термическую обработку), частично восстанавливают структуру вещества, одновременно электрически активируя внедренную примесь. И. л. осуществляют в ионно-лучевых установках (ИЛУ) в условиях высокого вакуума (10^-3 – 10^-4 Па). По сравнению с методом диффузии И. л. имеет ряд преимуществ: появляется возможность в более широких пределах и с большей точностью варьировать поверхностную концентрацию примесей; можно вести процесс при более низких температурах; допускается большой выбор легирующих примесей; можно получать разнообразные по форме примесные распределения с четкими границами областей легирования; обеспечивает большую чистоту внедряемых примесей и возможность локального легирования (либо узким ионным пучком, либо с помощью защитных масок).